LCD-ekraanide tootjate PR Cleaning automatiseeritud tootmisliini põhiseadmed
PR (fotoresist) puhastusautomaatne tootmisliin on LCD-ekraanide tootmise põhiline märgprotsessi seade. Seda kasutatakse peamiselt pärast fotolitograafia protsessi massiivi substraadil, et põhjalikult eemaldada fotoresisti jäägid, söövitusjäägid ja pinna mikro{1}}saasteained. See on ülioluline seade paneeli vooluringi täpsuse tagamiseks ja toote saagise parandamiseks. See sobib suurepäraselt 100. klassi puhasruumi rangesse tootmiskeskkonda ning saavutab suure-täpse, automatiseeritud ja saastevaba-suletud{7}}tsükli puhastustoimingud.
Pärast fotolitograafiaprotsessi positiivsete ja negatiivsete fotoresisti jääkide sihtimiseks kasutab see mitmeastmelist ultrahelipuhastust + puhta veega ülevooluloputusprotsessi, et sügavalt eemaldada praht, orgaanilised saasteained, tolmuosakesed ja muud pärast fotolitograafia söövitamist järelejäänud lisandid. See suudab põhjalikult eemaldada mikroskoopilisi jääke, mille suurus on alla 0,5 μm, vältides selliseid defekte nagu paneelide lahtised vooluringid, heledad laigud ja lisanditest põhjustatud Mura laigud. Koos 0,1 μm kõrge-täpse filtreerimissüsteemiga hoiab see ära sekundaarse saastumise. Sellega saavutatakse põhjalik, kahjustustevaba-eemaldus, vältides liimijääkide mõju järgnevatele söövitus- ja katmisprotsessidele ning eemaldamise katvus on 100%.
Sisseehitatud-ESD elektrostaatiline juhtmoodul kontrollib rangelt elektrostaatilist väärtust vahemikus ±100 V või sellega võrdne. Koos õõnsuse anti-staatilise materjali ja kontaktivaba magnetratta kohaletoimetamise tehnoloogiaga väldib see elektrostaatilist laengut, mis kahjustab paneeli täppisahelaid, vältides samal ajal ka kriimustusi, killustikke ja tolmu teket klaasist aluspinna hõõrdumisest, maksimeerides seega aluspinna terviklikkuse kaitset.
Kõrge ja madala temperatuuri konstantse temperatuuriga katsekamber
LCD-ekraanide tootjatele mõeldud automaatse puhastus- ja kuivatamisliini seadmete tuumas on kaks kuivatusrežiimi: õhunoaga lõikamine ja konstantsel -temperatuuril kuuma õhu kuivatamine. See eemaldab kiiresti aluspinna pinnalt veeplekid, saavutades vesimärgi--ja jälgede-vaba kuivamise. Pärast kuivamist läheneb substraadi pinna niiskusesisaldus nullile, võimaldades otse ülekandumist järgmisse protsessi ilma teisejärgulise töötlemiseta, tagades protsessi järjepidevuse. PLC-juhtimissüsteem võimaldab täisautomaatset suletud -ahelaga laadimist, positsioneerimist, puhastamist ja mahalaadimist. See toetab reaalajas-seire- ja häirefunktsioone puhastuslahuse kontsentratsiooni, temperatuuri, niiskuse ja puhtuse reguleerimiseks. Suletud kamber ja gradientne alarõhu disain takistavad keemilise gaasi leket. Koos 100. klassi puhasruumi positiivse rõhu keskkonnaga võimaldab see ka ülipuhta vee ringlussevõttu ning jäätmevedelike klassifitseerimist ja taaskasutamist, mis vastab nii energiasäästu- kui ka keskkonnakaitsenõuetele.
Võrreldes traditsioonilise käsitsipuhastusega on täisautomaatsetel PR-puhastuse tootmisliinidel asendamatud eelised: puhastusefektiivsus suureneb enam kui 3 korda ning vahetuses saab töödelda ligi 10 000 klaassubstraati, lühendades oluliselt protsessitsüklit; puhastuskonsistents on suurepärane, eemaldades põhjalikult mikro-jäägid, mis on väiksemad kui 0,5 μm, kontrollides paneeli defektide määra täpsusega 0,5 ppm, vältides tõhusalt selliseid defekte nagu eredad laigud, tumedad laigud ja vooluringi katkestused ekraanil; seadmed kasutavad vett{6}}säästvat ja energiasäästlikku-konstruktsiooni, millel on kõrge puhta vee taaskasutamise määr ning reovee klassifitseeritud kogumine ja puhastamine, mis vastavad keskkonnakaitselistele tootmisnõuetele; kogu masin on valmistatud korrosioonikindlast-PVC-st ja roostevabast terasest SUS304, millel on tugev tihend, lihtne puhastada ja hooldada ning see sobib 24-tunniseks pidevaks tööks puhastes ruumides, muutudes LCD-ekraanide tootjate standardvarustuseks tipptasemel tootesarjade loomiseks ja põhiliste konkurentsivõime suurendamiseks.
Põhivarustus LCD-ekraanide tootjate fotolitograafia töökojas
Säritusseadmed on fotolitograafia töökoja põhivarustus ja LCD-massiivi tootmisprotsessi peamine protsessivaldkond. Seda tuntakse ka kui paneellitograafiamasinat, see on ülitäpne{1}}optiline märgtöötlusseade. Selle põhiülesanne on kanda substraadi vooluringi muster optilise särituse kaudu fotoresistiga kaetud klaassubstraadile, mis on paneelis mikro-vooluahelate moodustamiseks ülioluline. Ahelmustri täpne ülekandmine fotomaskilt klaasalusele on järgnevate söövitus-, katmis- ja PR-puhastusprotsesside eeltingimus, mis määrab otseselt kuvari kvaliteedi. Seadmed kasutavad kontaktivaba kokkupuute protsessi, mis sobib suurte, õhukeste LCD-klaaspindade jaoks, vältides substraadi kriimustusi, kahjustusi ja saastumist.
Peamised tehnoloogilised elemendid hõlmavad suure -täpse joondussüsteemi mikroni-taseme või isegi alla-mikroni-taseme ülekatte täpsusega, mis tagab mitmekihilise vooluahela virnastamise nullviga, kusjuures vead on kontrollitud mõne tuhandiku läbimõõduga; ühtlase säritusega valgusallika ja dünaamilise teravustamise tehnoloogia kasutamine särituse energia kõikumiste saavutamiseks<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Kogu töökoda kasutab 589 nm monokromaatilist kollast valgusallikat, mis filtreerib täielikult välja lühikese-lainepikkusega valguse (nt ultraviolett-, sinise ja valge valguse), vältides nende kiirte enneaegset fotokeemiliste reaktsioonide käivitamist fotoresistis, põhjustades surmavaid defekte, nagu mustri vale joondamine, mittetäielikud jooned, lühised ja avatud vooluringid. Valgustussüsteem kasutab hajuva valguse lekke vältimiseks spetsiaalsete kollaste LED-ide ja kahe-kihifiltrite kombinatsiooni; uksed, aknad ja vaateaknad on varustatud anti-ultraviolettfiltri materjalidega; mobiiltelefonid, kaamerad, suure võimsusega-taskulambid ja muud välised valgusallikad on töökojas rangelt keelatud ning rakendatakse täielikku-ala valgusdistsipliini kontrolli, et vältida fotoresisti enneaegse särituse ohtu allikast.
Sissejuhatus LCD-ekraanide tootjate klassi 100 puhastesse ruumidesse
Täpse -LCD-tootmise valdkonnas on 100. klassi puhasruumid (ISO klass 5 puhasruumid) peamine tootmisüksus ning tootja tehnilise tugevuse ja toote tootlikkuse põhinäitaja. Juhtivad kuvariettevõtted, nagu BOE, TCL CSOT, HKC ja Tianma, kasutavad neid laialdaselt põhiprotsessietappides, nagu massiiv, elementide kokkupanek ja moodulite pakendamine. Nendel puhastel ruumidel on ranged puhtusstandardid, kus ei ole rohkem kui 100 hõljuvat tolmuosakest, mille läbimõõt on suurem või võrdne 0,5 μm õhukuupjala kohta (vähem kui 3520 kuupmeetri kohta). See puhtuse tase ületab palju meditsiiniliste operatsioonisaalide oma, toimides "kõva barjäärina", et vältida tolmu, staatilise elektri ja keemiliste saasteainete sekkumist täppisprotsessidesse. See on põhiline riistvarakomponent, mis määrab otseselt ekraani pildikvaliteedi, eluea ja tootlikkuse määra.
Töökoda on projekteeritud ja ehitatud rangelt kooskõlas ISO rahvusvaheliste ja kodumaiste standarditega. See kasutab vertikaalset ühesuunalist õhuvoolu režiimi, mis on ühendatud nelja-astmelise ULPA filtreerimissüsteemiga (eelfilter, keskmise-efektiivsusega filter, suure-efektiivsusega filter ja üli-kõrge-efektiivsusega filter), tagades filtreerimise efektiivsuse ja tolmueemalduse kuni 9% 99% õhust. surnud tsoonid. Samaaegselt saavutatakse täpne keskkonnakontroll kõikides mõõtmetes: konstantne temperatuur 23±1 kraadi, suhteline õhuniiskus 45%-55%, positiivse rõhu olek säilib puhtas piirkonnas ja rõhuerinevus, mis on suurem või võrdne 10Pa külgnevate alade vahel, vältides täielikult välise tolmu imbumist; arvestades ekraanipaneelide vastuvõtlikkust elektrostaatiliste kahjustuste suhtes, kasutatakse anti-staatilist epoksiidist isetasanduvat-põrandat ning seinte ja lagede jaoks kasutatakse 304 roostevabast terasest ja puhta ruumi värvilist terasplaati, kusjuures staatilise elektri väärtusi kontrollitakse kogu protsessi vältel rangelt; Täiendav kontroll on tagatud molekulaarsel-tasemel lenduvate orgaaniliste ühendite keemiliste saasteainete ja latentsete häirete (nt mikrovibratsiooni) suhtes, mis vastavad nanomõõtmeliste protsesside (nt fotolitograafia, õhukese kile sadestamine ja vedelkristallide süstimine) nõuetele.
Töökojas kasutatakse astmelist puhasruumi tsoneerimist, mis on jagatud klassi 100 põhialaks, klassi 1000 puhveralaks ja klassi 10 000 abialaks, ristsaastumist takistavate kihtidega ning personal ja automatiseeritud materjalikonveieriliinid on täielikult eraldatud. Töötajad peavad läbima kolmekordse riiete vahetamise, õhudušši ja elektrostaatilise tuvastamise ning saavad siseneda alles pärast täielikku-puhasruumi ülikonda, tolmuvabade-kindate ja kaitseprille kandmist; materjalid kantakse üle lukustatud ülekandeakende kaudu ning läbivad tolmu ja staatilise elektri eemaldamise töötluse; interjöör on varustatud FFU laminaarsete voolukatete, veebipõhiste osakeste loendurite, temperatuuri- ja niiskusandurite, diferentsiaalrõhu monitoride ja muude seadmetega, et saavutada 24-tunnine reaalajas jälgimine ja andmete jälgitavus. Ebatavaliste näidikute ilmnemisel hoiatatakse koheselt ja tehakse muudatusi, et tagada pidev keskkonnastabiilsus.
